1  主軸系統(tǒng)位于設(shè)備的下方，由電機(jī)通過窄 V 帶拖動(dòng)，采用最短的傳動(dòng) 鏈保證了其運(yùn)轉(zhuǎn)精度,  下盤采用高精度軸承定位支撐，運(yùn)轉(zhuǎn)剛度和精度都得 到了良好的保障，下盤軸下部裝有旋轉(zhuǎn)接頭，用于下盤內(nèi)通冷卻水，下盤冷卻 水流量可通過電動(dòng)閥比例調(diào)節(jié).

2  PP 拋光頭位于設(shè)備的上部，PP 頭的升降及加壓由氣缸實(shí)現(xiàn)，四個(gè) PP 頭的升降及加壓均單獨(dú)控制；PP 頭可主動(dòng)旋轉(zhuǎn)，單獨(dú)控制；PP 頭具備真空吸 附功能，可將陶瓷盤快速提起。

3 在設(shè)備的上部箱體正面設(shè)有主操作面板，可進(jìn)行參數(shù)設(shè)定，運(yùn)行監(jiān)控等 功能，在上箱體的兩個(gè)側(cè)面分別設(shè)有小操縱板用于四個(gè) PP 頭的升降操作；

4 拋光液、冷卻水、清洗水及氣路等從設(shè)備的后部引入；

5 在下盤的外側(cè)設(shè)有可滑動(dòng)的防護(hù)罩，可防止工作液的飛濺，減少有害 氣體的溢出；

6 設(shè)備具有水液分離機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)拋光液及水的自由切換；

7 在下拋盤中間設(shè)有可升降的一個(gè)中間導(dǎo)輪裝置，在接液盆邊緣部位設(shè)有 四個(gè)外導(dǎo)輪裝 置，二者配合可實(shí)現(xiàn)工件盤的自動(dòng)定位；

8 在橫梁上裝有紅外測溫裝置，用于下盤盤面溫度的監(jiān)測；

9 拋光液流經(jīng)或可能會(huì)接觸到的地方均采用不銹鋼材料或耐腐蝕非金屬材 料制作或進(jìn)行 特殊的防腐處理，液桶采用透明 PVC 或不銹鋼制作 (按客 戶需求定) ，拋光液管路采用潔凈 PVC 制作，滿足強(qiáng)酸強(qiáng)堿強(qiáng)氧化劑的 使用環(huán)境。

10 具有自動(dòng)沖水裝置，PP 頭將陶瓷盤提起后，可自動(dòng)對(duì)工件或 PP 頭進(jìn)

行噴水沖洗 (選 配)；

11 界面密碼分級(jí)管理，可根據(jù)不同權(quán)限設(shè)置；

12 歷史數(shù)據(jù) (溫度、壓力、轉(zhuǎn)速、時(shí)間等) 可導(dǎo)出。